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•适用于电子级化学品纯化(光阻、清洗液…等)
•可于溶剂、酸、碱性环境中降低金属离子
•适用于目标<50ppt;最低可将金属离子降至<10 ppt
•比起其它去除金属离子滤芯有5倍以上的处理量
•两种不同类型选择,分别针对不同价数金属离子
常用料号:
MIR-DA47-SCPD
MIR-DA47-APPD
MIRE-0100FK-SCPD
MIRE-0100FK-APPD